Analysis and Design Principles of MEMS Devices
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Amsterdam
Elsevier
2005
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| Sujets: | |
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| Description matérielle: | xi+308 |
|---|---|
| ISBN: | 0444516166 |