Analysis and Design Principles of MEMS Devices
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Amsterdam
Elsevier
2005
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| Assuntos: | |
| Tags: |
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| Descrição Física: | xi+308 |
|---|---|
| ISBN: | 0444516166 |